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真空鍍膜加工表面的清潔處理非常重要，直接影響到電鍍產品的質量。工件進入涂裝間前，必須仔細清洗。表面污染來自加工、傳遞、包裝過程中附著在工件上的各種灰塵、潤滑油、機油、拋光膏、油脂、汗水等物質。為了避免加工過程中產生的缺陷，真空鍍膜廠家基本上可以通過脫脂或化學清洗的方法去除。
對于清洗處理后的被清洗表面，不應存放在大氣環境中，而應存放在密閉容器或清洗柜中，以減少灰塵的污染。通過將玻璃基板儲存在新氧化的鋁容器中，可將碳氫化合物蒸汽的吸附降至低。因為這些容器優先吸收碳氫化合物。對于高度不穩定和水蒸氣敏感的表面，真空涂層應存放在真空干燥箱中。
PVD真空鍍膜工藝對環境的基本要求是除去鍍膜室內的灰塵，建立潔凈車間，保持室內清潔。在空氣濕度較高的區域，除了在電鍍前仔細清潔真空室中的基板和零件外，還應進行烘烤和脫氣。為防止油進入真空室，注意油擴散泵的回油，對加熱功率大的擴散泵采取堵油措施。
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