
有效鍍膜空間:φ700×900mm
極限真空度優于:≤ 5×10-4 Pa
排氣時間:從大氣壓抽至 5×10-3 Pa ≤ 30min
泄露值:≤ 9.9×10-5 Pam3/s
參數性能:
● 150 多模式電磁可控弧源(云弧模式)9-12 套
● 主體內腔尺寸:φ1050L×1005W×1400Hmm
● 周期:18-20h/ 爐
● 21 或 24 軸公自轉架臺車
● 一鍵啟動全自動工控系統
● 涂層種類:CrN / CrN(O)
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